1. 產(chǎn)品簡介
鈦含量≥：99.8（%)雜質(zhì)含量：0.02（%）
牌號： TA1，TA2，TA3，TC4(Ti6AL4V)，GR1，GR2，GR3，GR5( Ti6AL4V)
鈦圓靶 ：技術(shù)條件：符合GB/T2695-1996，ASTMB348-97
鈦板靶 ：技術(shù)條件：符合GB/T3621-94，ASTM B265-93
用途：用于半導(dǎo)體分離器件、平面顯示器、儲存器電極薄膜、濺射鍍膜、工件表面涂層，玻璃鍍膜工業(yè)
2. 產(chǎn)品規(guī)格
圓靶：常用規(guī)格：60/65/95/100*30/32/40/45mm
板靶：(8-25)mm * (150-300) mm * (1000-2500)mm
管靶： 70mm * 7mm/10mm
3. 材質(zhì)
TA1（Grade 1）、Zr1、Ta1、Mo1、Ni6
4. 性能標(biāo)準(zhǔn)
化學(xué)成分符合 GB/T 3621-2007，GB/T 2965-2007，GB/T 3625-2007 等標(biāo)準(zhǔn)。
5. 標(biāo)準(zhǔn)值
|
化學(xué)成分參考標(biāo)準(zhǔn)
|
|
牌號
|
Al
|
V
|
N≤
|
C≤
|
H≤
|
Fe≤
|
O≤
|
其他元素（單一）
|
其他元素（總和）
|
|
TA1
|
|
|
0.03
|
0.08
|
0.015
|
0.20
|
0.18
|
0.1
|
0.40
|
|
TA2
|
|
|
0.03
|
0.08
|
0.015
|
0.30
|
0.25
|
0.1
|
0.40
|
|
TC4
|
5.5-6.75
|
3.5-4.5
|
0.05
|
0.08
|
0.015
|
0.30
|
0.20
|
0.1
|
0.40
|
|
機械性能參考標(biāo)準(zhǔn)
|
|
牌號
|
室溫下力學(xué)性能，不小于
|
|
抗拉強度
|
屈服強度
|
伸長率
|
斷面收縮率
|
|
TA1
|
240 MPa
|
170MPa
|
25%
|
30%
|
|
TA2
|
345MPa
|
275 MPa
|
20%
|
30%
|
|
TC4
|
895MPa
|
825 MPa
|
10%
|
20%
|
微信聯(lián)系我
